分子束外延系统
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1/人使用者
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1/次总次数
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469/小时总时长
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1/人收藏者
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收费标准
机时0元/小时送样详见检测项目 -
设备型号
Mini-MBE -
当前状态
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管理员
宋业恒,刘献省 15251898613 -
放置地点
河南大学校级平台量子物质科学重点实验室15组团C104
- 仪器信息
- 预约资源
- 检测项目
- 附件下载
- 公告
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名称
分子束外延系统
资产编号
TY2021006706
型号
Mini-MBE
规格
Mini-MBE
产地
中国
厂家
东莞卓聚科技
所属品牌
出产日期
2021-09-20
购买日期
2021-09-21
所属单位
河南省量子材料与量子能源重点实验室
使用性质
科研
所属分类
资产负责人
宋业恒
联系电话
15251898613
联系邮箱
yehengsong@126.com
放置地点
河南大学校级平台量子物质科学重点实验室15组团C104
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
主要规格&技术指标
1主腔体系统真空度优于310-10 mbar；
*2.2快速进样室系统真空度优于310-6 mbar；
*2.3扩展LEED/AES真空腔真空度优于310-10 mbar；
2.4 主腔体底部可安装6个蒸发源；
*2.5 K-cell蒸发源4个，包括电源与连接电缆线，控温范围80-1300oC，控温精度1oC；
*2.6 INFICON石英振荡膜厚仪，CF40法兰接口，不小于0.12Hz频率分辨率，频率稳定性在0-50oC；
*2.7样品操作台为XYZ三维移动型位移台，XY方向移动距离不小于5 mm, Z方向移动距离不小于100 mm；
*2.8样品加热台1套：钨灯丝间接辐射式加热，可加热温度不小于800oC；Si片可直流加热，可加热温度不小于1200oC；含加热电源1个，最大可使用电流不小于10 A.
*2.9红外测温范围：75- 1300oC (MB 13)，分辨率0.1°C；
*2.10 光学调焦距离：手动21-50 cm；
2.11 扩展腔配备样品加热台，样品操作台为XYZ三维移动型位移台，XY方向移动距离不小于5 mm, Z方向移动距离不小于100 mm.
*2.2快速进样室系统真空度优于310-6 mbar；
*2.3扩展LEED/AES真空腔真空度优于310-10 mbar；
2.4 主腔体底部可安装6个蒸发源；
*2.5 K-cell蒸发源4个，包括电源与连接电缆线，控温范围80-1300oC，控温精度1oC；
*2.6 INFICON石英振荡膜厚仪，CF40法兰接口，不小于0.12Hz频率分辨率，频率稳定性在0-50oC；
*2.7样品操作台为XYZ三维移动型位移台，XY方向移动距离不小于5 mm, Z方向移动距离不小于100 mm；
*2.8样品加热台1套：钨灯丝间接辐射式加热，可加热温度不小于800oC；Si片可直流加热，可加热温度不小于1200oC；含加热电源1个，最大可使用电流不小于10 A.
*2.9红外测温范围：75- 1300oC (MB 13)，分辨率0.1°C；
*2.10 光学调焦距离：手动21-50 cm；
2.11 扩展腔配备样品加热台，样品操作台为XYZ三维移动型位移台，XY方向移动距离不小于5 mm, Z方向移动距离不小于100 mm.
主要功能及特色
该系统主要用于在超高真空环境下利用可控的分子束外延技术生长各类低维量子材料，配备样品传递和加热装置。同时，预留多种与不同设备匹配的接口以便后期扩展。系统主体包含主腔体、样品操纵台、快速进样室、超高真空计、扩展LEED/AES真空腔、红外数字测温仪和样品架及其他配件
样本检测注意事项
薄膜外延生长、薄膜样品表面表征
设备使用相关说明
30元/样品
预约资源
检测项目
附件下载
公告
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