二、成套情况：（详细列出主机及主要配件、备件的名称、型号、数量，技术资料）
1，快速进样室 材料为不锈钢304，腔体外径为114mm，内壁电化学抛光处理
真空度 好于1.3×10-5Pa
安放台 固定在磁力传送杆上，能够安防4个样品架和4个针尖架。
传送杆 一根磁力传送杆用于在快速进样室和制备室之间传送针尖和样品。
快进门 用于取放针尖和样品
可以更坏为标准的刀口法兰密封方式以实现更好的真空度
放气阀 1个ANELVA的ICF70的微漏阀。
2， 制备室 材料为不锈钢304，腔体外径为253mm，内壁电化学抛光处理
真空度 好于1.3×10-8Pa
安放台 安放台上可以安放4个样品架和4个针尖架。升级为可液氮及液氦制冷的安放台。能够在加热台上进行直流加热和电子束轰击加热。电子束轰击加热方式下最高温度可以至2000K。（电子束加热电源不包含在内）
观察窗 1个ICF114观察窗和3个ICF70观察窗。
扩展法兰口 1个ICF 70和ICF152法兰用于安装RHEED，1个ICF203用于安装LEED，1个ICF70用于离子规，2个ICF70用于针尖加热和Ar溅射枪，2或4个ICF70法兰作为扩展法兰。用于离子泵的ICF203法兰位于腔体的侧面。底部法兰没有离子泵，有6个ICF701个ICF114法兰用于生长。
*生长用法兰口的标准设计方案是采用UNISOKU生产的蒸发源，如果采用其他公司的产品，需提供相应的尺寸信息用于商讨。

传送杆 使用磁力传送杆，在制备室和转换室之间进行样品和针尖的传送。
2b 转换室 材料为不锈钢304，腔体外径为114mm，内壁电化学抛光处理。
真空度 好于1×10-10Torr
安防台 该安放台可以存放4个样品架和4个针尖架
传送杆 使用带有重力平衡装置的磁力传送杆，在转换室和STM扫描头之间进行针尖和样品的传送。
法兰 2或3个ICF70观察窗，3或2个ICF70扩展法兰用于生长或者导入气体。
升级样品解理和冷台。
3 观测室 　
3a 杜瓦 UNISOKU定制的用于USM-1300系统的低温杜瓦，产自International Cryogenic Inc 包含液氦液位仪和过压力减压阀
液面计 配有液氦液面计及控制器。
温度控制器 双通道输入带单通道PID温度控制功能。(CRYO-COM 32 360000）
运行温度 使用3He运行，400 mK-2K；
磁体 由超导磁铁组成。样品中心最强磁体11 T
磁体电源 磁场最大电流：60A
3b 插入室与扫描头 超高真空插入室，带有1K冷台。材料为非磁性不锈钢（SUS316）
减震 内部减震采用螺旋弹簧减震方式。
XY方向扫描范围 在 RT/4.2/K/0.4K温度下大于4/1.2/1.2微米。
Z方向工作范围 在RT/4.2/K/0.4K温度下大于250/70/60纳米。
Z向分辨率 室温下好于0.02nm，4.2K下好于0.01nm。
XY方向分辨率 室温下好于0.05nm，4.2K下好于0.01nm。
稳定性 77K下XY方向的漂移小于0.5nm/hour。4.2K下好于
0.2nm/hour。
噪音水平 4.2K下低于1pm。
最小隧穿电流 小于100 fA。
样品台 在XY平面内，样品能够在±0.5mm范围内粗动。
进针用的位置传感器 电容式位置传感器和高度控制器
4 减震台 采用4气腿结构，带有自动压力调节装置。
材料 采用非磁性不锈钢304.
台面尺寸 大约1600L×900W×1200H mm
重量 大约700Kg
氮气或者压缩空气 氮气瓶及10Kg/cm2 的减压阀需由用户自行准备，通过外径6mm的塑料管进行联接。
5 STM控制器 Nanonis Ver. 4.5 控制器和Unisoku的系统相结合。具有内部锁相功能前段放大器为(FEMTO)的DLPCA-200型号。可以进行精确的STS测量。同时带有偏压衰减器用作IV光谱。还有配有高频滤波器盒。
真空系统 　
真空规 包含3个离子真空规。
共用多通道真空规控制器。
真空阀门 2个ICF114手动闸板阀分别连接在快速进样室、制备室、转换室之间。ICF70的手阀连接在插入室和转换室之间。1个气动角阀连接在分子泵与快速进样室之间。


离子泵及钛泵 安捷伦公司生产的Valcon Plus300组合泵联接于生长室，安捷伦公司生产的Valcon Plus150组合泵联接于转换室。
离子泵及钛泵控制器 配有安捷伦公司生产的2个Minivac控制器和2个钛泵控制器。2根4米长的离子泵线缆及2根4米长的钛泵线缆也包含在内。
分子泵及干泵 安捷伦300L/sec的分子泵和300L/min的干泵联接在快速进样室上
6 配件 　
样品架（6电极） 4个电流加热型样品架，4个电子束轰击加热型样品架。
探针架 5个。
探针 包含10根铂铱针尖。
样品安装工具 1套。
照明光源 LED照明光源及ICF70卡套：2套
液氦输液管 1根。
烘烤系统 加热丝及温度传感器已经安装在了每个腔上，另外有3根加热带。
安装手册 1套。
安装 2个技术人员到现场，在一周时间内进行设备安装及初步调试。
验收条件 确认仪器的外观和数量，真空及低温性能，低温下Si(111)样品上的STM功能测试。
其它配件的功能及控制器测试。
选配件
7.1 离子枪 安装于生长室，用于清洁样品和针尖。
包含UNISOKU生产的IB-201控制器，2kV，10uA。
7.2 针尖清洗电子枪EB101 用于电子束方式清洗针尖。
包含UNISOK EB101
7.3 冷却解离操作台 带冷却功能的低温解离样品台。
液氦冷却下低于20K，液氮冷却下低于90K
7.4 安装于生长室的低温操纵台 带冷却功能的XYZ及Θ可调多维操纵台安装于生长室
液氦冷却下低于30K，液氮冷却下低于100K。
7.5 样品加热用高压电EB401 该高压电源用于样品加热。2KV-50mA EB-401 UNISOKU
7.6 氦3气体 通过氦3气体冷却到400 mK
7.7对于STM针尖电化学蚀刻系统 STM尖端钨丝的电化学腐蚀。蚀刻控制器电缆和蚀刻阶段。
7.8 安装在MBE的样品台 在垂直转移杆上做样品的存放。它是固定在ICF253法兰上。样品加热阶段，样品可以通过电子束或直流加热。加热时旋样品台样品面朝下。
7.9 安装在客户的MBE的快速进样腔 材料为不锈钢304，腔体外径为114mm，内壁电化学抛光处理。真空度好于1.3×10-5Pa固定在磁力传送杆上，能够安防4个样品架和4个针尖架。
一根磁力传送杆用于在快速进样室和制备室之间传送针尖和样品。1个ANELVA的ICF70的微漏阀。
7.10 用作快速进样腔上的额外的真空系统 300L的分子泵和300L的干泵用于快速进样腔。1个气动角阀连接在分子泵与快速进样室之间。


7.11 安装于客户MBE的离子泵 500L/秒的复合离子泵，钛升华泵抽速为1000L/秒，安装于MBE上。1个手动角阀连接在制备室与MBE之间
7.12低能电子衍射-俄歇电子能谱仪 背显示低能电子衍射光学套件BDL600IR-MCP1，数字式低能衍射-俄歇电源控制器LPS300D-MCP，带有锁定放大器的俄歇电子能谱控制器LOA10-AES，微通道板电子学套件MCPS1，低能
电子衍射光斑测量及分析软件及硬件LIM12。
7.13 束源炉 低温区、中温区、高温区扩散源炉共6只。DN40CF接口，单灯丝，热唇，集成水冷和遮挡板，坩埚容积为10cc-20cc。
7.14石英晶振仪 Inficon晶振膜厚仪，XTC/3 QCM，测量范围：0.0000001（mm）。