反应离子刻蚀系统
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收费标准
机时0.1元/小时送样详见检测项目 -
设备型号
Phanpom LT -
当前状态
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管理员
赵耀龙 16627528365 -
放置地点
河南大学校级平台纳米科学与材料工程学院-40万以上特功制备类设备-40万以上特功实验室（40万以上制备类）112-113室
- 仪器信息
- 检测项目
- 附件下载
- 公告
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名称
反应离子刻蚀系统
资产编号
11000443
型号
Phanpom LT
规格
Phanpom LT
产地
美国
厂家
Trion
所属品牌
Trion
出产日期
2011-05-01
购买日期
2011-03-01
所属单位
特功制备类设备-40万以上
使用性质
科研
所属分类
资产负责人
赵耀龙
联系电话
16627528365
联系邮箱
放置地点
河南大学校级平台纳米科学与材料工程学院-40万以上特功制备类设备-40万以上特功实验室（40万以上制备类）112-113室
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
主要规格&技术指标
最大基片尺寸：300mm 2.最大功率：ICP-1000W，RIE-600W 3.气体种类：6种
主要功能及特色
可用于清洗基底表面，干法刻蚀制备模板，去除残胶以及改变基底表面粗糙度和亲疏水性
样本检测注意事项
1、试样按国家标准进行制样3、试样测试前按国家标准进行调试
设备使用相关说明
1、操作人员经培训后方可操作设备
2、严格按照说明书进行操作
3、按要求认真填写操作记录
4、收费标准0.1元/样品
2、严格按照说明书进行操作
3、按要求认真填写操作记录
4、收费标准0.1元/样品
检测项目
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公告
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