三维形貌仪 (Bruker Contour GT-K)
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设备型号 :Bruker Contour GT-K
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仪器管理员 :张玉娟
联系人 :张玉娟 13693895146
放置地点 :纳米材料工程研究中心 > 纳米材料工程研究中心
IP地址 :
15元 / 样品
- 名称三维形貌仪
- 资产编号2016003782
- 型号Bruker Contour GT-K
- 规格Contour-K1
- 产地美国
- 厂家美国 Bruker Nano Inc.
- 所属品牌
- 出产日期2016-08-24
- 购买日期2016-05-26
- 所属单位纳米材料工程研究中心
- 使用性质科研
- 所属分类
- 联系人张玉娟
- 联系电话13693895146
- 联系邮箱172186033@qq.com
- 放置地点纳米材料工程研究中心
主要规格及技术指标
1.双LED光源(白光和绿光),工作模式分为VSI和PSI测试模式。垂直测量范围:0.1nm至10mm,全量程闭环扫描,无需缝合拼接。垂直分辨率:<0.1nm Ra; RMS重现性:0.01nm;垂直扫描速度:优于47微米/秒;横向分辨率:最小0.08微米。2.样品台倾斜角度调制范围:不小于±6°;电动闭环控制样品台,移动范围150mm(xy轴)/100mm(z轴);视场范围:不小于8.24mm,更大面积可用缝合功能。
3.台阶测试精度:0.75%;反射率范围:1%至100%;CCD分辨率:1280*960像素。
4.电动目镜自动转换器;目镜:0.55倍,1倍;白光干涉物镜:5倍,20倍,50倍。
5.进口气动悬浮减震台 24英寸*24英寸;8微米标准样品,带VLSI标定证书。
6.系统软件和硬件集成防撞保护功能;系统具有自动对焦功能。
7.可进行两维和三维分析,多区域自动分析(可对目标区域进行统计编号,可自动分析目标区域内高度或深度分布情况),可分析表面粗糙度,可无损测量面膜膜厚,可分析样品表面缺陷及台阶高度,并可对多次测量数据进行统计,得到详细的统计报告(含平均值,方差,最小值,最大值等)。可进行编程自动多点测量。可提供的数据包括高逼真度的三维图像,二维剖面图,以及完整的表面粗糙度参数。
8.多种图像拼接功能可实现方形,圆形及圆环形等图像拼接,针对圆形样品可采用螺旋式拼接。