三维形貌仪
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收费标准
机时1元/样品送样详见检测项目 -
设备型号
Bruker Contour GT-K -
当前状态
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管理员
张玉娟 13693895146 -
放置地点
河南大学校级平台纳米科学与工程研究院
- 仪器信息
- 检测项目
- 附件下载
- 公告
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名称
三维形貌仪
资产编号
2016003782
型号
Bruker Contour GT-K
规格
Contour-K1
产地
美国
厂家
美国 Bruker Nano Inc.
所属品牌
出产日期
2016-08-24
购买日期
2016-05-26
所属单位
纳米科学与工程研究院
使用性质
科研
所属分类
资产负责人
张玉娟
联系电话
13693895146
联系邮箱
172186033@qq.com
放置地点
河南大学校级平台纳米科学与工程研究院
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
主要规格&技术指标
1.双LED光源（白光和绿光），工作模式分为VSI和PSI测试模式。垂直测量范围：0.1nm至10mm，全量程闭环扫描，无需缝合拼接。垂直分辨率：<0.1nm Ra; RMS重现性：0.01nm；垂直扫描速度：优于47微米/秒；横向分辨率：最小0.08微米。
2.样品台倾斜角度调制范围：不小于±6°；电动闭环控制样品台，移动范围150mm（xy轴）/100mm（z轴）；视场范围：不小于8.24mm，更大面积可用缝合功能。
3.台阶测试精度：0.75%；反射率范围：1%至100%；CCD分辨率：1280*960像素。
4.电动目镜自动转换器；目镜：0.55倍，1倍；白光干涉物镜:5倍，20倍，50倍。
5.进口气动悬浮减震台 24英寸*24英寸；8微米标准样品，带VLSI标定证书。
6.系统软件和硬件集成防撞保护功能；系统具有自动对焦功能。
7.可进行两维和三维分析，多区域自动分析（可对目标区域进行统计编号，可自动分析目标区域内高度或深度分布情况），可分析表面粗糙度，可无损测量面膜膜厚，可分析样品表面缺陷及台阶高度，并可对多次测量数据进行统计，得到详细的统计报告（含平均值，方差，最小值，最大值等）。可进行编程自动多点测量。可提供的数据包括高逼真度的三维图像，二维剖面图，以及完整的表面粗糙度参数。
8.多种图像拼接功能可实现方形，圆形及圆环形等图像拼接，针对圆形样品可采用螺旋式拼接。
2.样品台倾斜角度调制范围：不小于±6°；电动闭环控制样品台，移动范围150mm（xy轴）/100mm（z轴）；视场范围：不小于8.24mm，更大面积可用缝合功能。
3.台阶测试精度：0.75%；反射率范围：1%至100%；CCD分辨率：1280*960像素。
4.电动目镜自动转换器；目镜：0.55倍，1倍；白光干涉物镜:5倍，20倍，50倍。
5.进口气动悬浮减震台 24英寸*24英寸；8微米标准样品，带VLSI标定证书。
6.系统软件和硬件集成防撞保护功能；系统具有自动对焦功能。
7.可进行两维和三维分析，多区域自动分析（可对目标区域进行统计编号，可自动分析目标区域内高度或深度分布情况），可分析表面粗糙度，可无损测量面膜膜厚，可分析样品表面缺陷及台阶高度，并可对多次测量数据进行统计，得到详细的统计报告（含平均值，方差，最小值，最大值等）。可进行编程自动多点测量。可提供的数据包括高逼真度的三维图像，二维剖面图，以及完整的表面粗糙度参数。
8.多种图像拼接功能可实现方形，圆形及圆环形等图像拼接，针对圆形样品可采用螺旋式拼接。
主要功能及特色
三位形貌仪主要用于薄膜材料以及摩擦副的表面粗糙度、磨损体积和表面轮廓测量，完成零部件表面轮廓、尺寸分析，曲率，孔隙率，粗糙度，驼峰度等信息分析。
样本检测注意事项
表面反光率大于1%的固态表面，台阶高度小于10mm。
设备使用相关说明
样品测试按时间收费，100元/小时。
检测项目
附件下载
公告
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