磁控溅射蒸发镀膜机 (JPC-450)

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设备型号 :JPC-450

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放置地点 :特种功能材料教育部重点实验室 > 特种功能材料教育部重点实验室(8号楼)104

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  • 名称磁控溅射蒸发镀膜机
  • 资产编号9001925
  • 型号JPC-450
  • 规格JPC-450
  • 产地中国
  • 厂家北京泰克诺科技有限公司
  • 所属品牌JPC-450
  • 出产日期
  • 购买日期2009-09-15
  • 所属单位特种功能材料教育部重点实验室
  • 使用性质教学
  • 所属分类样品前处理及制备设备
  • 联系人--
  • 联系电话
  • 联系邮箱ck@henu.edu.cn
  • 放置地点特种功能材料教育部重点实验室(8号楼)104

主要规格及技术指标

极限真空度:5X10-5pa

主要功能及特色

蒸镀金属薄膜

样本检测注意事项

注意靶枪和分子泵的水冷

设备使用相关说明

1.开气泵,保持气压在60左右。
2.开循环水。
3.开总电源-电源启动-开机械泵-开真空计-开流量计控制箱电源-开前级阀(抽分子泵内的真空到5Pa以下)-关前级阀-开旁路阀(5Pa以下,如果需要洗气-此时可以打开截止阀-开到洗气-打开气瓶-看到流量计示数上升后,立即关闭流量计,如果不需要可省略,一般在更换气瓶的时候需要清洗一次)-开截止阀(抽供气管道中的气体)-关截止阀-关旁路阀-开前级阀-打开主阀-开分子泵电源-启动分子泵(等待升到400)-开基片控温和旋转-将真空计置换到电阻状态-打开气瓶主阀-调节减压阀为0.2mPa左右(不要超过0.3mPa,过大的气压会直接冲开流量计的阀门)-打开截至阀-将流量计的阀门打开,并耐心等待示数归零-将真空计置换到电阻状态-慢慢调流量控制旋钮(控制流量到合适的数值10-20)-适当关闭主阀(使电阻2的真空度大约在0.1-几个Pa之间,保持腔室有一定浓度的氩气)-打开基片旋转-开溅射电源开关-调节电流电压到合适数值(应该观察到腔室中有辉光)-打开靶档板I开始制膜-制膜结束后-关靶档板I-把溅射电压电流调到零--关基片旋转-关磁控溅射电源开关-把流量计阀门关闭,等流量显示为零时-关闭流量计-完全打开主阀(抽一段时间的真空,真空度达到10-3,此步骤是把流量计和截止阀之间的气体抽干净)-关闭截止阀-关基片加热-真空计切换到手动电阻-关闭主阀-关闭分子泵-(分子泵完全停止后,关前级阀)-腔室放气-打开舱门取出样品-关闭腔室气阀-关闭舱门-关闭气瓶主阀-开旁路阀-抽腔室真空到5Pa以下-关旁路阀-关闭真空计-关机械泵-关电源-关闭总电源-关闭循环水-关闭气泵
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