手套箱与磁控溅射蒸发镀膜机联用
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收费标准
机时0元/小时 -
设备型号
JPC-450，Lab2000 -
当前状态
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管理员
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放置地点
- 仪器信息
- 检测项目
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名称
手套箱与磁控溅射蒸发镀膜机联用
资产编号
型号
JPC-450，Lab2000
规格
JPC-450，Lab2000
产地
中国
厂家
北京泰克诺科技有限公司
所属品牌
JPC-450，Lab2000
出产日期
购买日期
2009-09-15
所属单位
特功制备类设备（40万以下设备）
使用性质
教学
所属分类
资产负责人
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放置地点
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
主要规格&技术指标
极限真空度：5X10-5pa
主要功能及特色
蒸镀金属薄膜
样本检测注意事项
注意靶枪和分子泵的水冷
设备使用相关说明
1.开气泵，保持气压在60左右。
2.开循环水。
3.开总电源－电源启动－开机械泵－开真空计－开流量计控制箱电源－开前级阀（抽分子泵内的真空到5Pa以下）－关前级阀－开旁路阀(5Pa以下，如果需要洗气－此时可以打开截止阀－开到洗气－打开气瓶－看到流量计示数上升后，立即关闭流量计，如果不需要可省略，一般在更换气瓶的时候需要清洗一次）－开截止阀（抽供气管道中的气体）－关截止阀－关旁路阀－开前级阀－打开主阀－开分子泵电源－启动分子泵（等待升到400）－开基片控温和旋转－将真空计置换到电阻状态－打开气瓶主阀－调节减压阀为0.2mPa左右（不要超过0.3mPa，过大的气压会直接冲开流量计的阀门）－打开截至阀－将流量计的阀门打开，并耐心等待示数归零－将真空计置换到电阻状态－慢慢调流量控制旋钮（控制流量到合适的数值10-20）－适当关闭主阀(使电阻2的真空度大约在0.1－几个Pa之间，保持腔室有一定浓度的氩气)－打开基片旋转－开溅射电源开关－调节电流电压到合适数值（应该观察到腔室中有辉光）－打开靶档板I开始制膜－制膜结束后－关靶档板I－把溅射电压电流调到零－－关基片旋转－关磁控溅射电源开关－把流量计阀门关闭，等流量显示为零时－关闭流量计－完全打开主阀（抽一段时间的真空，真空度达到10-3,此步骤是把流量计和截止阀之间的气体抽干净）－关闭截止阀－关基片加热－真空计切换到手动电阻－关闭主阀－关闭分子泵－（分子泵完全停止后，关前级阀）－腔室放气－打开舱门取出样品－关闭腔室气阀－关闭舱门－关闭气瓶主阀－开旁路阀－抽腔室真空到5Pa以下－关旁路阀－关闭真空计－关机械泵－关电源－关闭总电源－关闭循环水－关闭气泵
2.开循环水。
3.开总电源－电源启动－开机械泵－开真空计－开流量计控制箱电源－开前级阀（抽分子泵内的真空到5Pa以下）－关前级阀－开旁路阀(5Pa以下，如果需要洗气－此时可以打开截止阀－开到洗气－打开气瓶－看到流量计示数上升后，立即关闭流量计，如果不需要可省略，一般在更换气瓶的时候需要清洗一次）－开截止阀（抽供气管道中的气体）－关截止阀－关旁路阀－开前级阀－打开主阀－开分子泵电源－启动分子泵（等待升到400）－开基片控温和旋转－将真空计置换到电阻状态－打开气瓶主阀－调节减压阀为0.2mPa左右（不要超过0.3mPa，过大的气压会直接冲开流量计的阀门）－打开截至阀－将流量计的阀门打开，并耐心等待示数归零－将真空计置换到电阻状态－慢慢调流量控制旋钮（控制流量到合适的数值10-20）－适当关闭主阀(使电阻2的真空度大约在0.1－几个Pa之间，保持腔室有一定浓度的氩气)－打开基片旋转－开溅射电源开关－调节电流电压到合适数值（应该观察到腔室中有辉光）－打开靶档板I开始制膜－制膜结束后－关靶档板I－把溅射电压电流调到零－－关基片旋转－关磁控溅射电源开关－把流量计阀门关闭，等流量显示为零时－关闭流量计－完全打开主阀（抽一段时间的真空，真空度达到10-3,此步骤是把流量计和截止阀之间的气体抽干净）－关闭截止阀－关基片加热－真空计切换到手动电阻－关闭主阀－关闭分子泵－（分子泵完全停止后，关前级阀）－腔室放气－打开舱门取出样品－关闭腔室气阀－关闭舱门－关闭气瓶主阀－开旁路阀－抽腔室真空到5Pa以下－关旁路阀－关闭真空计－关机械泵－关电源－关闭总电源－关闭循环水－关闭气泵
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