高真空薄膜沉积仪 (FDJ650)
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设备型号 :FDJ650
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仪器管理员 :--
联系人 :--
放置地点 :纳米材料工程研究中心 > 纳米材料工程研究中心
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- 名称高真空薄膜沉积仪
- 资产编号
- 型号FDJ650
- 规格
- 产地
- 厂家沈阳科友真空技术研究所
- 所属品牌沈阳科友真空技术研究所
- 出产日期
- 购买日期2007-07-01
- 所属单位纳米材料工程研究中心
- 使用性质科研
- 所属分类
- 联系人--
- 联系电话
- 联系邮箱172186033@qq.com
- 放置地点纳米材料工程研究中心
主要规格及技术指标
二、 主要技术性能:1、真空抽气系统:
主沉积室:选用涡轮分子泵FB1200+机械泵2XZ-15机组抽气,并设置旁路抽气。
(1)极限真空:系统经24小时烘烤,连续抽气P≤6.6×10-5Pa
(2)抽速:系统由大气开始抽气在≤40分钟内,P≤6.6×10-4Pa
(3)系统漏率:用氦质谱检漏仪检漏漏率≤1×10-8Pa L/S
2、磁过滤弧源:
直流弧源,弯管900,弯管壁绕紫铜冷却水管,出口内径180㎜,靶直径Φ60㎜,带有聚焦磁场线圈,可加正负40V偏压,从弧源法兰处引入气体,沉积速率1μ m/h